第一步:計(jì)劃和準(zhǔn)備


創(chuàng)建PFMEA項(xiàng)目，定義產(chǎn)品、跨職能團(tuán)隊(duì)等信息，如下圖所示:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用

第二步:結(jié)構(gòu)分析


根據(jù)晶圓研磨的工藝流程，定義結(jié)構(gòu)，分析工藝工作要素(5M1E)，如下圖所示:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用


系統(tǒng)自動生成的工藝流程圖,如下:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用

第三步:功能分析


根據(jù)晶圓研磨的制造工藝，定義各種工藝項(xiàng)目、工藝步驟和工作要素的功能和要求，如下圖所示:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用


通過功能矩陣,維護(hù)過程項(xiàng)、過程步驟、工作要素的功能和要求的關(guān)聯(lián)關(guān)系:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用


第四步:故障分析


維護(hù)過程項(xiàng)目、過程步驟和工作要素的功能和要求失效，如下圖所示:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用


維護(hù)過程項(xiàng)、過程步驟、工作要素三級失效的關(guān)聯(lián)關(guān)系:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用


查看失效網(wǎng):


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用

第五步:風(fēng)險(xiǎn)分析


評分FMEA S/O/D并制定預(yù)防措施(PC)和檢測措施(DC)。


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用

基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用

第六步:優(yōu)化


對H的AP(動作優(yōu)先級)和m的AP(動作優(yōu)先級)進(jìn)行改進(jìn)，重新制定預(yù)防措施和檢測措施，進(jìn)一步改進(jìn)，再重新評估。


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用


任務(wù)分配:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用


步驟7:記錄(部分顯示以供參考)


FMEA分析完成后，將生成新版本的FMEA標(biāo)準(zhǔn)表單:


基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用基于FMEA在晶圓研磨工藝中的應(yīng)用



在E- FMEA軟件中，可以保證從PFMEA到控制計(jì)劃(CP)的數(shù)據(jù)一致性，即在FMEA中修改產(chǎn)品特性或過程特性后，同時修改控制計(jì)劃。


以上采用新版FMEA的分析方法和E- FMEA軟件對晶圓研磨的研磨過程進(jìn)行分析，并用FMEA軟件進(jìn)行制作和展示。


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